Positionierungslösungen, um den Durchsatz in Ihrem Belichtungs-Prozess zu verbessern. Für das ultrapräzise Belichten einzelner Bauelemente auf bspw. einem Wafer, bieten wir hochgenaue, einbaufertige Präzisions-Systeme für Ihre Belichtungsaufgaben an, die mit hoher Dynamik bewegen und positionieren oder eine definierte Position stabil halten.